泛結構化微機電係統集成設計方法 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024
发表于2024-07-08
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圖書描述
《泛結構化微機電係統集成設計方法》提齣和建立瞭泛結構化微機電係統集成設計方法，係統性地論述瞭其理論體係和關鍵技術。本方法是在對當前微機電係統集成設計工具的體係結構、基礎理論、關鍵技術及發展趨勢等方麵進行歸納和總結的基礎上，提齣的一種新的方法和理論，是對當前通用的微機電係統結構化設計方法的重要發展和提高。依據本方法實現瞭國産微機電係統集成設計工具（MEMS Garden），並結閤大量典型和復雜MEMS器件實例驗證瞭本方法和設計工具的實用性和先進性。
《泛結構化微機電係統集成設計方法》可供微機電係統相關學科的科研人員參考。
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