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薄膜晶体管

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谷至华
复旦大学出版社
2007-9
411
45.00元
9787309056556

图书标签: 半导体  TFT  薄膜晶体管阵列制造技术  工艺  业务   


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发表于2024-11-26

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图书描述

《薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术》主要介绍非晶硅(amorphous silicon, a-Si)TFT阵列大规模生产的制造技术。高质量的平板显示器的核心是薄膜晶体管(thin film transistor, TFT)矩阵的特性和制造技术。全书共13章,从TFT元件的结构及特点,到TFT检查与修复,包括TFT阵列制作清洗工艺、成膜工艺、光刻工艺、不良解析和检查修复。《薄膜晶体管(TFT)阵列制造技术》从TFT阵列大规模制造的角度,第一次比较全面地介绍了TFT-LCD生产线的TFT阵列制造工艺技术、工艺参数、生产工艺技术管理、工艺材料规格、设备特性、品质控制、产品技术解析;以工艺原理、设备参数控制、材料特性要求、生产工艺文件要求等大规模生产技术要素为核心,比较完整地介绍了现代化信息制造业的工艺流程与工艺管理。

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