微光机电系统 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024


微光机电系统

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张文栋
机械工业
2006-8
310
28.00元
简裝本
9787111192664

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发表于2024-11-23

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图书描述

本书介绍了微光机电系统(Nicro-Optical-Electro-mechical System,MOEMS)的国内外发展状况,微器件的结构设计与仿真,常用的微制造技术,如表面工艺、体硅工艺和LIGA工艺,封装技术等。本书的重点是介绍各种MOEMS器件,包括微力学器件、RF微器微光学器件、微流体器件以及微温度传感器和微磁场传感器等。介绍微器件时,本书从各器件的工作原理、工艺步骤、性能指标等入手,意在使读者更好地了解目前已经研制成功的各种微器件及微系统,并能在实际的工程中考虑使用。

本书可作为从事MOEMS技术应用和开发的工程设计人员,科技管理人员以及相关专业研究生的参考书。

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