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微機電係統設計與製造 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

微機電係統設計與製造
☆☆☆☆☆
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本社
國防工業
2005-12
371
32.00元
9787118041217

圖書標籤: 專業   

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发表于2024-12-26

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圖書描述

本書概要地介紹MEMS的設計與製造，全書共分7章，內容包括：MEMS的概論，MEMS的設計，集成電路(IC)基本製造技術，MEMS的製造技術，微傳感器，微執行器以及MEMS的應用及檢測技術。

本書針對非微電子專業的高年級本科生和研究生學習MEMS技術之用。通過對本書的學習，使讀者能夠在集成電路製造技術方麵，獲得必要的知識，同時對MEMS的設計與製造有一個比較完整的瞭解，為開展MEMS的研究奠定必要的基礎。

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