本書概要地介紹MEMS的設計與製造，全書共分7章，內容包括：MEMS的概論，MEMS的設計，集成電路(IC)基本製造技術，MEMS的製造技術，微傳感器，微執行器以及MEMS的應用及檢測技術。
本書針對非微電子專業的高年級本科生和研究生學習MEMS技術之用。通過對本書的學習，使讀者能夠在集成電路製造技術方麵，獲得必要的知識，同時對MEMS的設計與製造有一個比較完整的瞭解，為開展MEMS的研究奠定必要的基礎。
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