微机电系统设计与制造 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024


微机电系统设计与制造

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本社
国防工业
2005-12
371
32.00元
9787118041217

图书标签: 专业   


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发表于2024-12-25

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图书描述

本书概要地介绍MEMS的设计与制造,全书共分7章,内容包括:MEMS的概论,MEMS的设计,集成电路(IC)基本制造技术,MEMS的制造技术,微传感器,微执行器以及MEMS的应用及检测技术。

本书针对非微电子专业的高年级本科生和研究生学习MEMS技术之用。通过对本书的学习,使读者能够在集成电路制造技术方面,获得必要的知识,同时对MEMS的设计与制造有一个比较完整的了解,为开展MEMS的研究奠定必要的基础。

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