這是一本較全麵地敘述金剛石薄膜沉積製備工藝與應用的書。本書從金剛石薄膜的優異性能和應用前景齣發，闡述瞭各種沉積薄膜的製備方法；論述瞭金剛石薄膜的非平衡熱力學和金剛石膜聲場的動力學因素；較詳盡地探討瞭能大麵積沉積金剛石膜的熱絲裝置和當今沉積速率最高的等離子射流裝置的一些關鍵技術和成膜關鍵技術和成膜工藝；同時介紹瞭性能接近金剛石膜、易實現産業化、應用前景看好的雷金剛石膜的製備工藝、性能和應用。最後展望瞭金剛石膜未來的發展前景，指齣金剛石膜必將成為21世紀有影響的功能薄膜材料。
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