MEMS Technology and Devices

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出版者:
作者:Liu, Aiqun/ Wu, Jiuhui/ Lu, Chun/ Reddy, Chilla Damodara
出品人:
页数:460
译者:
出版时间:
价格:179
装帧:
isbn号码:9789812709608
丛书系列:
图书标签:
  • MEMS
  • 微机电系统
  • 传感器
  • 执行器
  • 微制造
  • MEMS技术
  • MEMS器件
  • 集成电路
  • 微电子
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具体描述

现代传感器系统与信号处理 图书简介 本书深入探讨了现代传感器系统从原理到实践的全貌,侧重于如何将物理世界的多样化信号有效地采集、转换、处理和应用于实际工程问题。全书结构严谨,内容涵盖了传感器技术的基础理论、先进的信号调理方法、以及复杂的数字信号处理技术在智能系统中的应用。本书旨在为电子工程、自动化、物理学以及相关交叉学科的研究生和高级本科生提供一个全面且深入的学习资源。 第一部分:传感器原理与基础 本部分首先奠定了理解传感器系统的理论基石。我们详细剖析了各类传感器的基本工作机理,区别于微机电系统(MEMS)的特定结构,本书关注的是更广泛的物理量到电信号的转换过程。 第一章:物理量与传感器基础 本章从信息论的角度审视了物理量测量的重要性,定义了传感器的关键性能指标,如灵敏度、线性度、分辨率、动态范围以及温度漂移等。我们深入探讨了误差的来源及其统计学处理方法。重点讲解了噪声在测量链中的影响,包括白噪声、粉红噪声以及环境噪声对信号完整性的破坏。 第二章:热电效应与温度传感 本章详述了热敏电阻(RTD)、热电偶(Thermocouple)和热敏电阻(Thermistor)的工作原理、优缺点及应用场景。特别关注了半导体PN结在测量温度时的非线性特性,并介绍了如何通过查表法或数值模型进行精确线性化补偿。与侧重微结构设计的MEMS温度传感器不同,本书更侧重于传统热电偶的冷端补偿技术及其在极端温度环境下的可靠性分析。 第三章:光电转换与图像采集 本章聚焦于光信号的检测与量化。内容涵盖了光电导、光伏效应和光电倍增效应。详细分析了不同类型的光电探测器,如光敏电阻、光电二极管和光电晶体管的响应时间、光谱响应范围及其在光通信和遥感中的应用。在图像采集方面,本书深入探讨了CCD和CMOS图像传感器的电荷转移机制、噪声源(如暗电流、读出噪声)的抑制方法,以及色彩还原的基本原理,而非侧重于特定芯片的微加工工艺。 第四章:力学量传感:应变与压力 本部分专门处理机械运动和形变的电学转换。应变计(Strain Gauge)作为最基本的力学传感器,其电阻随机械应变变化的原理被详细阐述。我们分析了惠斯通电桥电路在放大微小电阻变化方面的应用,以及如何通过选择合适的封装材料来最小化结构形变对测量精度的影响。压力传感器部分,则侧重于压阻效应(Piezoresistive Effect)在薄膜传感器中的应用,以及如何设计合适的封装结构以实现高灵敏度和低迟滞。 第二部分:信号调理与前端处理 传感器输出的原始信号通常微弱、高阻抗且充满噪声,本部分专注于如何将这些原始信号转化为适合模数转换器(ADC)处理的干净、标准化的电压或电流信号。 第五章:放大器技术与噪声分析 本章是信号调理的核心。详细介绍了仪表放大器(Instrumentation Amplifier)的设计、共模抑制比(CMRR)的优化,以及如何根据传感器输出阻抗选择合适的输入级。噪声管理被提升到关键地位,我们探讨了低噪声运算放大器的选型原则,并对比了电压反馈型与电流反馈型放大器在处理高频传感器信号时的特性差异。 第六章:滤波技术在传感器信号中的应用 本章系统介绍了模拟滤波器在消除干扰和增强有用信号方面的作用。从基本的RC一阶滤波器到高阶的巴特沃斯(Butterworth)和切比雪夫(Chebyshev)滤波器设计,均有详尽的数学推导和设计实例。特别强调了在传感器前端如何设计陷波滤波器以消除特定频率的工频干扰(如50/60 Hz电源噪声),并讨论了滤波器的时间常数与系统带宽之间的权衡。 第七章:数据采集与模数转换 本章阐述了从连续模拟信号到离散数字信号的转换过程。深入分析了逐次逼近型(SAR)、Σ-Δ(Sigma-Delta)以及流水线(Pipelined)ADC的内部架构、转换速度、有效位数(ENOB)与量化噪声的关系。本章的关键在于指导读者如何根据采样定理和传感器信号的特性,选择合适转换速率和分辨率的ADC,并讨论了过采样和欠采样的应用场景。 第三部分:数字信号处理与智能应用 在信号被数字化后,本书转向介绍如何运用强大的计算工具对数据进行深入分析和特征提取。 第八章:离散时间系统与Z变换 本章为数字滤波和控制系统分析打下数学基础。定义了离散时间信号,并系统推导了Z变换的性质,包括收敛域(ROC)的概念。通过对IIR和FIR滤波器的系统函数分析,阐明了数字滤波器在频率响应和相位失真方面的设计考量。 第九章:数字滤波器的实现与优化 本章侧重于将理论转化为高效的代码实现。详细对比了直接型、级联型和并联型数字滤波器的结构对运算量和数值稳定性的影响。介绍了有限脉冲响应(FIR)滤波器的设计方法,如窗函数法(Hamming, Blackman)和频率采样法,并讨论了定点运算对滤波器性能的影响及相应的量化误差处理技术。 第十章:时域与频域分析 本章探讨了从信号中提取有用信息的核心技术。傅里叶级数和傅里叶变换的离散形式——离散傅里叶变换(DFT)是重点。详细介绍了快速傅里叶变换(FFT)算法的原理及其在实际应用中的优化,包括零填充(Zero Padding)和窗函数对频谱泄漏的校正。此外,我们还讨论了功率谱密度(PSD)的估计方法,如Welch's法,用于分析随机过程信号。 第十一章:传感器融合与状态估计 现代智能系统依赖于多个传感器的协同工作。本章介绍了传感器融合的基本概念,包括数据对齐、时间同步和不确定性描述。重点深入讲解了卡尔曼滤波(Kalman Filter)在线性系统状态估计中的应用,包括扩展卡尔曼滤波(EKF)在处理非线性系统(如惯性导航系统)中的实施细节。本章强调如何通过融合处理,提高系统的鲁棒性和估计精度,超越单个传感器的能力极限。 第十二章:系统集成与嵌入式实现 本书最后一部分讨论了从实验室原型到实际产品的转化过程。涵盖了微控制器(MCU)和数字信号处理器(DSP)在高速数据处理中的选型标准。讨论了串行通信协议(如SPI, I2C, UART)在传感器数据传输中的应用,并简要介绍了实时操作系统(RTOS)在管理多个传感器任务和确保时间确定性方面的作用。本书最终目标是使读者能够设计和构建一个完整、高效且可靠的现代传感器数据采集与处理系统。

作者简介

目录信息

读后感

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用户评价

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我是一名在校的研究生,正在准备我的学位论文,希望能从这本书中找到一些新的研究方向和突破口。这本书最吸引我的地方在于它对“跨学科整合”的强调。它并没有将机械、电子、光学等领域孤立看待,而是清晰地展示了这些技术如何在一个微小系统中协同工作。书中对光机械系统(Photomechanical Systems)的讨论,尤其让我耳目一新。作者详细剖析了如何通过精确控制激光的功率和波长来实现对微结构的无接触加工和组装,这部分内容结合了光学物理和材料变形理论,理论深度很高,但讲解起来又非常具有画面感。我特别喜欢作者在脚注中补充的那些“幕后故事”——关于某些关键工艺参数是如何通过大量的试错和经验积累确定的。这些“软信息”在教科书中是很少见的,它们透露出真实工程实践的复杂性和挑战性,极大地激发了我对科研的热情。唯一的小遗憾是,书中关于商业化量产的良率控制和成本分析的篇幅可以再增加一些,毕竟理论上的完美并不等同于市场上的成功,这一点或许是未来版本可以加强的方向。

评分☆☆☆☆☆

这本书的排版和字体选择,给我的阅读感受提升了不少。很多技术书籍常常因为版式拥挤、图表模糊而让人望而却步,但这本书明显在这方面下了功夫。大开本的设计使得复杂的电路图和结构示意图得以充分展开,细节纤毫毕现,这在研究微纳加工掩模版设计时尤其重要。我发现它在讲解流体动力学在微通道中的应用时,所使用的三维仿真截图效果极佳,颜色区分度高,对理解流场分布和压力梯度变化非常有帮助。不过,我也注意到,书中在处理某些电磁兼容性(EMC)和热管理的部分时,内容略显保守,似乎更侧重于静态性能的分析,对于极端工作条件下的可靠性探讨着墨不多。这或许是由于该领域的技术更新速度极快,作者难以面面俱到。尽管如此,作为一本奠定基础理论的著作,它的深度和广度已经远超预期。我建议初学者可以先啃下基础的物理模型章节,再逐步深入到具体的器件设计,这样能够更好地建立知识体系的框架,避免被海量信息淹没。

评分☆☆☆☆☆

我是一个资深的电子工程师,工作内容涉及精密仪器的设计与调试。我阅读这本书的目的是想系统性地回顾一下那些被我工作日常中忽略的底层物理原理。这本书的语言风格非常严谨、客观,几乎没有煽情或夸张的表达,纯粹依靠无可辩驳的公式和实验数据来构建论点,这正是我所偏爱的专业书籍的特质。我惊喜地发现,它对“噪声”和“漂移”这两个在实际应用中最为头疼的问题,进行了非常系统和深入的剖析,从热噪声的来源到界面陷阱效应导致的低频噪声,作者都提供了清晰的数学模型和相应的抑制策略。阅读这些章节时,我常常会停下来,对照我正在处理的某个实际故障案例进行反思,很快就找到了问题症结所在。书中关于系统集成和测试验证的章节,更像是提供了一套完整的质量控制手册,而不是简单的知识罗列。它教会我们如何设计出具有自校准能力的闭环系统,以对抗环境变化对高精度测量的影响。总而言之,这是一本内容密度极高,且极具应用指导价值的工具书,对于任何从事高精度、微系统开发的人员来说,都是一本案头必备的参考资料。

评分☆☆☆☆☆

坦白讲,我购买这本书的初衷是想寻找一些关于新型传感器封装技术的突破性进展,毕竟当前市场对小型化和高集成度的需求越来越迫切。阅读体验上,这本书的逻辑结构安排得十分清晰,每一章节之间都有明确的承接关系,知识点的递进非常自然流畅。我尤其欣赏作者在讨论特定器件性能优化时所采用的“问题-分析-解决方案”的论述框架,这在处理那些实际工程中遇到的瓶颈问题时,显得尤为实用和高效。例如,关于压电效应在能量采集器中的应用那一节,它不仅详细介绍了不同压电材料的本征特性,还对比了薄膜沉积、体材料加工等不同制造工艺对最终能量转换效率的影响,这种系统性的对比分析,比我之前阅读过的任何一篇综述都来得透彻。书中引用的参考文献也极为丰富和前沿,很多都是近两三年的高影响力期刊论文,这说明作者的研究视野非常开阔,紧跟行业脉搏。对于那些希望将理论知识迅速转化为实际产品开发能力的工程师而言,这本书提供的不仅仅是知识,更是一种解决问题的思维模式,它教会你如何从材料层面去思考器件的极限性能。

评分☆☆☆☆☆

这本书的装帧设计倒是挺别致的,封面采用了磨砂质感,拿在手里感觉很扎实。我特别喜欢封面上那个微缩机械的图案,色彩搭配沉稳大气,一下子就把人带入了那种精密制造的氛围里。拿到书后,我迫不及待地翻开了目录,发现它涵盖了从基础理论到前沿应用的广泛领域,看得出来作者在内容组织上花了不少心思。比如,开篇对材料科学的阐述就非常深入,不像很多同类书籍那样只是浅尝辄止,而是详细分析了几种关键材料的微纳加工特性,让人对后续章节的理解有了坚实的基础。尤其是关于光刻技术的那一章,配图的清晰度和细节程度,简直像是直接从实验室的显微镜下截取的,那些复杂的曝光曲线和套刻精度分析,对于工程实践者来说,绝对是宝典级别的参考资料。我原本以为这些内容会枯燥乏味,但作者的叙述方式很巧妙,总能在技术细节中穿插一些历史背景和应用案例,使得阅读过程充满了探索的乐趣,让人忍不住想一口气读完。不过,有些深奥的数学推导部分,可能需要读者有一定的背景知识才能完全领会,但总体来说,这是一本从设计、制造到测试全流程覆盖的精品之作,非常值得反复研读。

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