具体描述
Introductory MEMS: Fabrication and Applications is a practical introduction to MEMS for advanced undergraduate and graduate students. Part I introduces the student to the most commonly used MEMS fabrication techniques as well as the MEMS devices produced using these techniques. Part II focuses on MEMS transducers: principles of operation, modeling from first principles, and a detailed look at commercialized MEMS devices, in addition to microfluidics. Multiple field-tested laboratory exercises are included, designed to facilitate student learning about the fundamentals of microfabrication processes. References, suggested reading, review questions, and homework problems are provided at the close of each chapter. Introductory MEMS: Fabrication and Applications is an excellent introduction to the subject, with a tested pedagogical structure and an accessible writing style suitable for students at an advanced undergraduate level across academic disciplines.
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用户评价
作为一个习惯于通过对比来衡量一本技术书籍价值的读者，这本书最独特之处在于其对“设计哲学”的强调。它不仅仅教你“如何计算”一个梁的挠度或一个谐振器的频率，它更深入地探讨了“为何要选择这种结构”以及“在特定约束下最优化的权衡取舍”。作者经常在论述中穿插一些设计案例的“失败教训”，比如某个早期电容麦克风设计因静电吸附问题导致可靠性下降，以及后来通过引入特定的偏置电压或结构优化来解决这些问题的过程。这种对工程现实的坦诚揭示，极大地提高了本书的实用价值和可信度。它教会我的不是一套固定的公式集，而是一种系统性的、基于物理直觉和工程经验的思考模式。总而言之，这本书不是一本容易啃完的“快餐读物”，它要求读者投入时间和精力去消化，但所获得的回报——那种对整个MEMS领域脉络清晰的掌控感和解决实际问题的信心——是无可估量的。
评分这本书的排版和注释系统简直是教科书级别的典范。在阅读专业书籍时，我最头疼的就是索引和术语查找效率低的问题。但这本书在这方面做得非常出色，关键术语的首次出现都有清晰的定义，页边空白处留白恰当，方便读者做笔记。更值得称赞的是其对前沿研究进展的整合能力。虽然它提供了坚实的理论基础，但作者并没有故步自封，而是用专门的章节梳理了柔性电子、生物MEMS（BioMEMS）以及最新的量子传感技术在微纳尺度上的应用前景。这些内容并非简单的信息罗列，而是带有作者深刻洞察的趋势分析，指出当前技术瓶颈和未来突破口所在。通过这些前沿信息的引导，我能更清晰地认识到自己知识体系中需要加强的方向。它成功地做到了在打下坚实地基的同时，带领读者眺望远方的地平线，激发了持续学习和探索的热情，而不是读完就束之高阁的“过时指南”。
评分这本书的封面设计真是相当有品味，那种深邃的蓝色调搭配上简洁的白色字体，一下子就抓住了我的眼球。我原本对这个领域知之甚少，拿到这本书时，心里其实是有点忐忑的。翻开第一页，映入眼帘的是作者对微电子机械系统（MEMS）发展历程的宏观叙述，那种娓娓道来的语气，仿佛一位经验丰富的老教授在给我们讲述一段波澜壮阔的历史。他并没有一上来就堆砌那些令人望而生畏的公式和复杂的工艺流程，而是先搭建了一个清晰的概念框架，让我能迅速地对这个交叉学科有一个整体的认识。特别是关于MEMS在传感器和执行器中的应用案例分析，描述得非常生动，比如如何通过微小的结构实现对环境的感知和干预，这些例子让我产生了强烈的代入感。对于初学者来说，这种由宏观到微观、由应用到原理的叙述顺序，无疑是极其友好的。书中的插图和示意图也绘制得非常精美且具有极高的信息密度，即便是那些复杂的结构剖面图，也能通过巧妙的标注和透视效果，让读者一眼就能领会其设计思想。我已经迫不及待地想要深入了解后续章节，相信它能为我打开一扇通往微观世界的大门。
评分这本书的深度和广度，简直超出了我预期的想象。我原本以为这会是一本偏重于理论推导的教科书，但它在介绍完基本原理之后，立即转向了材料选择和制造工艺的探讨，这一点处理得非常到位。作者对于不同材料（硅基、聚合物、金属）的特性对比分析，细致到连热膨胀系数和应力应变行为都有详细的表格和图示佐证，这对于一个需要进行实际设计的人来说，简直是如获至宝。更让我印象深刻的是，书中对光刻、刻蚀（干法与湿法）以及薄膜沉积等核心制造步骤的讲解，不仅有原理阐述，还穿插了大量的实际操作中可能遇到的挑战和解决方案。例如，如何控制深宽比、如何减少侧壁损伤等，这些“工程智慧”往往是其他教材中轻易略过却至关重要的部分。阅读这些章节时，我感觉自己仿佛在一家顶级的微纳加工实验室里进行实地考察，那些抽象的工艺参数在作者的笔下变得具体可感。这种兼顾理论深度和工程实践的写作风格，让这本书不仅仅停留在“知道”的层面，更能指导我们“做到”。
评分我必须强调一下这本书在数学模型和仿真分析部分的处理方式。通常这类书籍，在涉及偏微分方程和边界条件设定时，会让人感到十分吃力。然而，这本书的作者展现出了一种高超的教学技巧。他并非直接抛出复杂的解析解，而是首先用直观的物理图像来解释这些模型背后的力学或电磁学含义，比如静电力、压电效应的场分布是如何影响器件性能的。随后，他才逐步引入有限元分析（FEA）的基础框架，并展示了如何将实际的MEMS结构参数代入软件进行仿真验证。书中对耦合效应的讨论尤为精彩，比如热-机械耦合和流-固耦合，作者清晰地展示了如何通过多物理场仿真来优化结构设计，避免实际加工后的性能偏差。对我个人而言，过去难以理解的一些非线性问题，在阅读了这部分内容后，豁然开朗。这不仅仅是一本知识的传授者，更像是一位经验丰富的导师，手把手地教你如何利用现代工具去“预见”微观世界的运行规律。
评分excellent book!
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评分作为入门书还不错
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