Microlithography Science and Technology pdf epub mobi txt 电子书下载 2026

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出版者:CRC Pr I Llc

作者:Suzuki, Kazuaki (EDT)/ Smith, Bruce W. (EDT)

出品人:

页数:864

译者:

出版时间:2007-5

价格:$ 197.69

装帧:HRD

isbn号码:9780824790240

丛书系列:

图书标签:

微光刻
光刻技术
半导体制造
纳米技术
光学工程
材料科学
微电子学
集成电路
薄膜技术
精密工程

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具体描述

This new edition of the bestselling Microlithography: Science and Technology provides a balanced treatment of theoretical and operational considerations, from elementary concepts to advanced aspects of modern submicron microlithography. Each chapter reflects the current research and practices from the world's leading academic and industrial laboratories detailed by a stellar panel of international experts. New in the Second Edition In addition to updated information on existing material, this new edition features coverage of technologies developed over the last decade since the first edition appeared, including: Immersion Lithography 157nm Lithography Electron Projection Lithography (EPL) Extreme Ultraviolet (EUV) Lithography Imprint Lithography Photoresists for 193nm and Immersion Lithography Scatterometry Microlithography: Science and Technology, Second Edition authoritatively covers the physics, chemistry, optics, metrology tools and techniques, resist processing and materials, and fabrication methods involved in the latest generations of microlithography such as immersion lithography and extreme ultraviolet (EUV) lithography. It also looks ahead to the possible future systems and technologies that will bring the next generations to fruition. Loaded with illustrations, equations, tables, and time-saving references to the most current literature, this book is the most comprehensive and reliable source for anyone, from student to seasoned professional, looking to achieve robust, accurate, and cost-effective microlithography processes and systems.

好的，这是一份针对一本名为《Microlithography Science and Technology》的图书的替代性图书简介。这份简介将完全聚焦于其他主题，并且力求内容详实、专业，不涉及微影技术。 --- 《宇宙深空探测与系外行星生命探索：理论、技术与未来展望》图书简介本书深入剖析了当代天体物理学、行星科学和宇航工程领域的前沿进展，专注于人类对宇宙深空边界的拓展，以及对地外生命存在的科学性探寻。全书以严谨的科学论证为基础，辅以最新的任务数据和前沿技术分析，为专业研究人员、高年级本科生及对宇宙探索怀有浓厚兴趣的读者提供了一部全面且富有洞察力的指南。第一部分：深空动力学与先进推进系统本部分首先回顾了经典轨道力学在规划星际任务中的核心作用，特别是如何利用引力弹弓效应和霍曼转移轨道进行高效的行星际航行。随后，我们将焦点转向了下一代先进推进技术。核热推进（NTP）与核电推进（NEP）：详细比较了这两种技术在提供高推力比与高燃料效率方面的潜力。书中对最新的反应堆设计、屏蔽技术以及离子推进器的效率优化进行了深入探讨。特别收录了针对“火星往返任务”的动力学模拟案例，论证了NTP在缩短载人任务时间上的决定性优势。脉冲推进与反物质研究：尽管仍处于理论和早期实验阶段，但本书并未回避对突破性技术如核聚变脉冲推进（如Project Orion的现代迭代）和基于反物质湮灭的理论推进模型进行探讨。我们审视了当前在微克级反物质制造和储存方面取得的实验进展，并评估了其在实现超光速（尽管是理论上的）或近光速飞行的可行性。太阳帆与磁帆技术：详细阐述了利用光子压力进行无燃料航行的原理。针对不同任务需求，对比了传统薄膜太阳帆的展开、控制难题与基于磁场与等离子体相互作用的磁帆（Magsails）在星际介质中减速和加速的应用潜力。第二部分：系外行星的发现、表征与宜居性评估系外行星研究是本书的第二个核心支柱。我们从早期对“热木星”的发现过渡到对类地行星和“超级地球”的系统性普查，着重分析了当前探测方法论的演进。探测技术综述：全面回顾了凌日法（Transit Method）和视向速度法（Radial Velocity Method）的最新精度提升，并详细分析了直接成像技术（Direct Imaging）在去除恒星光污染（如使用高对比度 Coronagraphs 和 Starshade 概念）方面所面临的光学工程挑战。大气光谱学与生物标志物：这是评估地外生命存在可能性的关键。书中详细介绍了詹姆斯·韦伯太空望远镜（JWST）等新一代仪器如何通过透射光谱和反射光谱分析系外行星大气层的化学组成。重点分析了水蒸气、氧气、臭氧、甲烷和一氧化二氮等关键生物标志物（Biosignatures）的组合特征，以及如何区分生物成因与地质/光化学成因。宜居带的重新定义：传统的“宜居带”概念正在被修正。本书引入了“类地行星宜居性指数”（EHI）的概念，纳入了行星磁场保护、潮汐锁定效应、火山活动、板块构造对碳循环的维持作用，以及恒星活动性（如耀斑）对表面生命持续性的影响。对M型红矮星周围行星的“潮汐锁定”风险和潜在的“热带生命”生态系统进行了深入建模。第三部分：深空探测任务与前沿数据分析本部分聚焦于实际的深空探测任务，特别是那些旨在直接探索太阳系内潜在宜居环境的任务。冰封海洋世界的探索：重点分析了木卫二（Europa）、土卫二（Enceladus）和土卫六（Titan）的地下海洋环境。书中详细讨论了对这些卫星的“冰下穿透”技术（Cryobots，如极地钻探系统）的设计要求，以及如何利用遥感技术（如激光雷达和探地雷达）绘制冰壳内部结构。对“土卫六”的甲烷循环和表面化学过程的独特分析提供了丰富的行星化学视角。火星生命遗迹的搜寻：评估了“毅力号”等火星车采集的岩芯样本的初步分析结果，并展望了未来“火星样本返回任务”对寻找古代微生物化石的科学意义。对火星地下水冰的分布及其对潜在现存生命形式的意义进行了详细的地球物理学分析。数据处理与机器学习在天文学中的应用：探讨了面对海量望远镜和探测器数据流，如何利用先进的机器学习算法进行异常检测、星系形态学分类以及快速识别系外行星凌星信号，极大地提高了科学发现的效率。总结与展望本书以对人类终极问题的思考作结：我们在宇宙中是孤独的吗？通过整合最新的推进科学、高精度观测和生物地球化学模型，本书描绘了一幅宏大且细致的探索蓝图，为未来数十年内可能发生的重大科学突破奠定了坚实的理论基础。它不仅是技术手册，更是一部对宇宙奥秘永不满足的好奇心的宣言。 ---