《矽超大規模集成電路工藝技術:理論實踐與模型》是美國斯坦福大學電氣工程係“矽超大規模集成電路製造工藝”課程所使用的教材，該課程是為電氣工程係微電子學專業的四年級本科生及一年級研究生開設的一門專業課。《矽超大規模集成電路工藝技術:理論實踐與模型》最大的特點是，不僅詳細介紹瞭與矽超大規模集成電路芯片生産製造相關的實際工藝技術，而且還著重講解瞭這些工藝技術背後的科學原理。特彆是對於每一步單項工藝技術，書中都通過工藝模型和工藝模擬軟件，非常形象直觀地給齣瞭實際工藝過程的物理圖像。同時全書還對每一步單項工藝技術所要用到的測量方法做瞭詳細的介紹，對於工藝技術與工藝模型的未來發展趨勢也做瞭必要的分析討論。另外，《矽超大規模集成電路工藝技術:理論實踐與模型》每一章後麵都附有相關內容的參考文獻，同時還附有大量習題。
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蠻化學的。榮國光是個引路人，看書在自身。工藝蠻好玩的，榮國光給分也蠻厚道的。我蠻喜歡工藝的。
评分引領走進工藝殿堂啊！又一聖經。。。必讀。。。
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