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微納尺度製造工程 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

微納尺度製造工程
☆☆☆☆☆
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斯蒂芬 A·坎貝爾
2010-9
636
69.00元
9787121118043

圖書標籤: 微電子  英語  電子工程  必讀  中國  2010   

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发表于2024-11-23

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圖書描述

《微納尺度製造工程(第3版)(英文版)》是The Science and Engineering of Microelectronic Fabrication 的第三版。《微納尺度製造工程(第3版)(英文版)》係統地介紹瞭微電子製造科學原理與工程技術，覆蓋瞭集成電路製造所涉及的所有基本單項工藝，包括光刻、等離子體和反應離子刻蝕、離子注入、擴散、氧化、蒸發、氣相外延生長、濺射和化學氣相澱積等。《微納尺度製造工程(第3版)(英文版)》新增加的內容包括原子層澱積、電鍍銅、浸潤式光刻、納米壓印與軟光刻、薄膜器件、有機發光二極管以及應變技術在CMOS工藝中的應用等，對於其他已經過時的或不再具有先進性的題材則做瞭適當的簡化或刪除處理。

《微納尺度製造工程(第3版)(英文版)》可作為高等學校微電子專業本科生和研究生相應課程的教科書或參考書，也可供與集成電路製造工藝技術有關的專業技術人員學習參考。

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佘總教的課，他的風格我特彆喜歡，自身嚴謹而且學富五車，可謂是中山大學中最為優秀的教授之一瞭！當然書也是貫穿瞭很多物理學的東西，詳細而且脈絡清晰！

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