Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV pdf epub mobi txt 电子书 下载 2026

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出版者:Society of Photo Optical

作者:

出品人:

页数:534

译者:

出版时间:1999-7

价格:USD 120.00

装帧:Paperback

isbn号码:9780819430885

丛书系列:

图书标签:

• Laser processing
• Microelectronics manufacturing
• Optoelectronics
• Semiconductor lasers
• Laser materials processing
• Photolithography
• Laser ablation
• Thin film deposition
• Surface modification
• Precision engineering

Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV: 聚焦前沿技术，驱动未来产业升级 《Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV》是一本深入探讨激光技术在微电子和光电子制造领域最新进展的学术专著。本书汇集了全球顶尖研究人员和行业专家的最新成果，全方位、多角度地展现了激光技术如何以前所未有的方式革新和推动这两个关键产业的发展。本书不仅为学术界提供了前沿的研究视野，也为工业界提供了宝贵的实践指导和技术参考。 内容概览： 本书内容涵盖了激光在微电子制造中的各个关键环节，从材料加工、器件制造到先进封装，无不展现出激光技术的强大赋能作用。 微电子制造： 精密加工与蚀刻： 聚焦于飞秒激光、皮秒激光等超快激光在微纳结构的精密加工、材料去除和高精度蚀刻方面的最新进展。探讨了如何利用激光实现亚微米乃至纳米级别的图案化，以及在半导体晶圆、PCB基板等材料上的精细加工技术。重点关注激光诱导的等离子体效应、热影响区控制以及表面形貌优化等关键问题。 薄膜沉积与改性： 深入研究激光辅助化学气相沉积（LCVD）、激光诱导前驱体分解（LIPF）等技术在功能性薄膜（如导电膜、绝缘膜、半导体薄膜）制备中的应用。探讨了激光能量如何精确控制薄膜的厚度、成分、结晶度和表面特性，以及在透明导电氧化物（TCO）、金属有机化合物（MOCVD）等领域的新应用。 集成电路制造： 重点关注激光在下一代集成电路制造中的关键作用，包括深紫外（DUV）和极紫外（EUV）光刻技术中的激光源应用、先进光刻胶的研发与应用、以及激光退火、激光焊接等在芯片制造过程中的精细调控。探讨了如何通过激光技术实现更高的分辨率、更低的缺陷率和更快的生产效率。 三维（3D）打印与增材制造： 探讨了激光熔覆、选择性激光烧结（SLS）、立体光刻（SLA）等3D打印技术在微电子元件（如微型传感器、高密度互连）和电子封装中的应用。重点关注材料选择、工艺参数优化以及打印精度控制，以实现复杂结构和高性能器件的快速制造。 检测与质量控制： 介绍了激光散斑、激光扫描显微镜、拉曼光谱等激光技术在微电子器件的缺陷检测、失效分析、过程监控中的应用。探讨了如何利用激光的非接触、高灵敏度特性，实现对微纳结构的精确测量和质量保证。 光电子制造： 光器件制造： 深入研究激光在光通信、光传感、光计算等领域的光电子器件制造中的应用。包括激光器（如半导体激光器、光纤激光器）的芯片制造、光波导的精密加工、光电耦合技术的优化以及光栅、衍射元件等光学结构的制备。 显示技术： 重点关注激光在先进显示技术中的应用，如激光投影显示、Micro-LED显示、以及量子点（QD）激光器在显示领域的潜力。探讨了激光在像素尺寸控制、色彩饱和度提升、以及器件集成方面的关键技术。 光伏与能源： 介绍了激光在太阳能电池制造中的应用，如硅片开槽、薄膜电池图案化、以及激光焊接技术在组件生产中的优化。探讨了激光技术如何提高光伏器件的效率和可靠性。 生物光子学与医疗应用： 探讨了激光在生物传感、细胞成像、微流控芯片制造以及激光医疗设备组件制造等方面的应用。重点关注激光加工的生物相容性、精度以及在微型化生物系统中的集成。 核心亮点与前沿趋势： 本书不仅系统梳理了现有技术，更着重展望了未来发展趋势，包括： 超快激光技术的深化应用： 飞秒、皮秒激光在材料加工的精度、效率和损伤控制方面将持续突破，为更精细的微纳结构制造提供可能。 人工智能（AI）与激光制造的融合： AI在激光工艺参数优化、实时过程监控、以及预测性维护等方面的应用，将显著提升激光制造的智能化水平。 新型激光源与材料的开发： 新型激光器（如固态激光器、光纤激光器）和可激光加工新材料的不断涌现，将为微电子和光电子制造开辟新的应用领域。 绿色与可持续制造： 激光技术在减少材料消耗、降低能耗方面的优势将得到更广泛的认可，推动制造过程的环保化。 高通量与低成本制造： 随着技术的成熟和自动化水平的提高，激光制造将进一步实现高通量、低成本的目标，加速新产品的市场化。 《Laser Applications in Microelectronic and Optoelectronic Manufacturing IV》为所有对激光技术在这些前沿领域感兴趣的研究人员、工程师、学生以及行业决策者提供了无与伦比的知识宝库。本书将激励创新，加速技术转化，并最终塑造微电子和光电子产业的未来。

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