納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能傳感器研究 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024
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趙曉鋒
2009-8
246
25.00元
9787811291261
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发表于2024-11-10
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圖書描述
《納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能傳感器研究》在溫殿忠教授提齣的JFET壓／磁電效應基本理論基礎上，給齣MOSFETs壓／磁多功能傳感器在外加壓力P≠O、外加磁場B=O；外加壓力P≠O、外加磁場B=O；外加壓力P≠O、外加磁場8≠O；外加壓力P≠O、外加磁場B≠O四種情況下的基本理論分析。采用CMOS工藝和MEMS技術設計、製作以納米矽／單晶矽異質結為源極(S)和漏極(D)的MOSFETs壓／磁多功能傳感器。《納米矽/單晶矽異質結MOSFETs壓/磁多功能傳感器研究》設計、製作的納米矽／單晶矽異質結MOSFETs壓／磁多功能傳感器能夠完成壓力和磁場的檢測，具有良好的壓敏特性和磁敏特性，可實現壓／磁檢測的集成化和一體化，對傳感器的小型化、多功能化、集成化和一體化發展具有重要意義。
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導師的博士論作，也是目前我所作的論文方嚮。壓力傳感器是多應用於航天航空。
評分導師的博士論作，也是目前我所作的論文方嚮。壓力傳感器是多應用於航天航空。
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