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微納米加工技術及其應用 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

微納米加工技術及其應用
☆☆☆☆☆
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崔錚
2009-5
367
66.00元
9787040263589

圖書標籤: 微納米加工  物理  核心必讀！  微電子  微流控芯片  微加工   

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发表于2024-11-12

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圖書描述

《微納米加工技術及其應用(精)》集作者多年來的實踐經驗與研究成果，並結閤近年來國際上的最新發展，綜閤介紹瞭微納米加工技術的基礎，包括光學曝光技術、電子柬曝光技術、聚焦離子束加工技術、掃描探針加工技術、微納米尺度的復製技術、各種沉積法與刻蝕法圖形轉移技術、間接納米加工技術與自組裝納米加工技術。對各種加工技術的介紹著重講清原理，列舉基本的工藝步驟，說明各種工藝條件的由來，並注意給齣典型的工藝參數；充分分析瞭各種技術的優缺點及在應用過程中的注意事項；以大量圖錶與實例說明各種加工方法，避免煩瑣的數學分析；並以專門一章介紹瞭微納米加工技術在現代高新技術領域的應用，演示瞭如何靈活應用微納米加工技術來推動這些領域的技術進步。

與國內外同類齣版物相比，《微納米加工技術及其應用(精)》的顯著特點是將用於超大規模集成電路生産、微機電係統製造與納米技術研究的微納米加工技術進行綜閤介紹，並加以比較；首次將微納米加工歸納為平麵工藝、探針工藝和模型工藝3種主要類型，突齣瞭微納米加工與傳統加工技術的不同之處。全書既注重基礎知識又兼顧微納米加工領域近年來的最新進展，並列舉瞭大量參考文獻與互聯網鏈接網址，供讀者進一步發掘詳細信息與深人研究，因此不論是對初次涉足這一領域的大專院校的本科生或研究生，還是對已經有一定工作經驗的專業科技人員，都具有很好的參考價值。

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5-day lectures given by the author at iopcas in July, 2011.

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