发表于2024-11-05
MEMS可靠性 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024
《MEMS可靠性》是国际上MEMS可靠性领域第一本专著,共分为两部分。第一部分论述MEMS材料的可靠性内容及主要表征方法,包括MEMS材料的可靠性,微纳压痕仪,鼓胀测试,弯曲测试,单轴张应力测试,片上测试;第二部分论述MEMS器件的可靠性,包括压力传感器可靠性,惯性传感器可靠性,RFMEMS可靠性和光MEMS可靠性。内容新颖,数据充实,适合于微机电系统、微电子、光电子、传感器、通讯技术领域的高年级大学生、研究生和工程技术人员参考。
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