发表于2024-11-08
微电子机械加工系统 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024
《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》还详细介绍了电学,热学和力学有限元方法的要领,相关软件的使用及硅片的加工处理方法。阅读《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》,可以为MEMS元件的设计和制造打下较好的基础,从而可以灵活应用所学知识。MEMS技术是21世纪发展的重大技术,涉及国防、航天、医疗等领域。《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》以各种微型阀、微型泵、微型马达、压电元器件的制造为目的,阐述其功能,所依据的物理原理及定律。
《微电子机械加工系统(MEMS)技术基础》可供国防、航天、医疗等专业的技术人员阅读,也可供大专院校有关专业师生参考。
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