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出版者:John Wiley & Sons Inc

作者:Baklanov, Mikhail (EDT)/ Green, Martin (EDT)/ Maex, Karen (EDT)

出品人:

頁數:508

译者:

出版時間:2007-3

價格:579.00 元

裝幀:HRD

isbn號碼:9780470013601

叢書系列:

圖書標籤:

Dielectric Films
Microelectronics
Thin Films
Material Science
Semiconductor Devices
Insulation
VLSI
Nanotechnology
Surface Science
Electrical Engineering

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具體描述

The topic of thin films is an area of increasing importance in materials science, electrical engineering and applied solid state physics; with both research and industrial applications in microelectronics, computer manufacturing, and physical devices. Advanced, high-performance computers, high-definition TV, broadband imaging systems, flat-panel displays, robotic systems, and medical electronics and diagnostics are a few examples of the miniaturized device technologies that depend on the utilization of thin film materials. This book presents an in-depth overview of the novel developments made by the scientific leaders in the area of modern dielectric films for advanced microelectronic applications. It contains clear, concise explanations of material science of dielectric films and their problem for device operation, including high-k, low-k, medium-k dielectric films and also specific features and requirements for dielectric films used in the packaging technology. A broad range of related topics are covered, from physical principles to design, fabrication, characterization, and applications of novel dielectric films.

該書緻力於全麵介紹近年來在微電子領域蓬勃發展的領域內，先進材料與技術的發展現狀及其應用前景。書中係統梳理瞭各種關鍵性組分和復閤材料，為讀者提供瞭對現代薄膜技術的深入理解。這本書詳細描述瞭不同類型的有機和無機高性能材料在微電子器件中的功能錶現，涵蓋瞭從傳輸特性到機械穩定性的多維度分析。對於研究人員而言，這一書是獲取最新科研成果的重要參考，同時也為工程師提供瞭理解復雜微結構設計的理論框架。書中不僅深入探討瞭傳統薄膜工藝與新興製造技術的對比，還詳細介紹瞭在半導體、光電器件及納米技術等領域中的應用實例。這些內容幫助讀者把握前沿科技的發展動嚮，提升瞭工程實踐能力。此外，書中還特彆注重展示材料科學與微電子設計之間的緊密聯係，強調瞭創新性工藝在提高器件性能、可靠性方麵的重要作用。文章結構嚴謹，從基礎原理逐步深入到具體應用場景，每一章均配有豐富的實驗數據和圖示，以增強理解力。這本書對於希望拓展專業知識、提升科研能力的讀者具有極高的參考價值。內容詳實，層次分明，不僅適用於學術研究，也為工程實踐提供瞭可靠依據。整體而言，這本書以科學嚴謹、條理清晰的方式呈現瞭高端薄膜技術的發展脈絡與應用前景，是一份係統且全麵的學習資源。讀者通過閱讀這一書，將能夠更好地掌握微電子領域最新進展，為後續研究或實際工程提供堅實的理論和技術支持。內容豐富、邏輯清晰，使其在專業領域內具有廣泛的應用潛力。這篇詳細解析不僅覆蓋瞭材料本身，更著重展示瞭其在現代科技中的重要性，真正為讀者打開瞭一扇高科技領域的大門。