Handbook of Optical Metrology

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出版者:CRC Pr I Llc
作者:Santoyo, Fernando M.
出品人:
页数:400
译者:
出版时间:2009-2
价格:$ 158.14
装帧:HRD
isbn号码:9780849376191
丛书系列:
图书标签:
  • 光学计量
  • 光学测量
  • 计量学
  • 光学工程
  • 精密仪器
  • 测试技术
  • 光学检测
  • 表面形貌
  • 干涉测量
  • 波前传感
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具体描述

Supplying quick and easy access to information for students and engineers, the Handbook of Optical Metrology presents a range of application areas for optical methods of metrology, including medicine, quality control, remote sensing, and manufacturing design. It provides a solid foundation for optical metrology by introducing the classical subject of interferometry early in the text. With contributions from leading experts, the book offers complete coverage of digital holography, digital data and image processing, surface roughness measurement, fiber optic fabrication into sensors, photonic crystal fibers, lasers in optical metrology, and particle image velocimetry.

《精密光学测量技术:从理论基石到前沿应用》 导论:测量的艺术与科学 在现代科技飞速发展的浪潮中,对物质世界进行精准、可靠的量化描述已成为一切科学研究与工程实践的基石。本手册聚焦于精密光学测量技术的核心原理、关键方法及其在各个工程领域中的实际应用。光学测量因其非接触性、高灵敏度和极高空间分辨率的独特优势,已成为我们理解和控制微观及宏观形貌、表面粗糙度、内部结构以及动态过程的首选工具。 本书旨在为光学、物理、机械工程、材料科学以及电子信息等领域的科研人员、工程师和高年级学生提供一本全面、深入且具有高度实践指导价值的参考书。我们不局限于传统的光学检验范畴,而是力求构建一个连接基础光学理论与尖端测量仪器的知识体系。 第一部分:光学测量基础与几何光学回溯 本部分将奠定读者理解后续复杂测量技术所需的理论基础,重点回顾与精密测量直接相关的光学概念。 第一章:光的波动性与电磁场基础 首先,我们将从麦克斯韦方程组出发,回顾光的电磁波本质。重点探讨光的偏振态(线性、圆偏振、椭圆偏振)及其在介质界面上的反射和折射规律(菲涅耳公式)。这对于理解偏振敏感的测量技术,如应力分析和表面纹理识别至关重要。随后,讨论光在不同介质中的传播特性,包括吸收、散射和衍射现象,这些都是限制测量精度和对比度的核心物理因素。 第二章:几何光学与成像系统分析 虽然精密光学往往依赖波动光学,但几何光学为理解透镜、反射镜构成的复杂光学系统提供了直观的框架。本章详细分析理想透镜的成像规律,引入光瞳、像差等概念。我们将深入探讨成像质量的量化指标,例如调制传递函数(MTF)和点扩散函数(PSF)的定义与计算方法。强调如何利用像差理论指导系统设计,确保初始成像清晰度满足测量要求。 第三章:干涉测量学的基本原理 干涉是实现亚波长精度测量的核心机制。本章从惠更斯-菲涅耳原理出发,详细阐述了光程差的概念。我们分类介绍干涉源的建立:包括迈克尔逊、马赫-曾德尔以及杨氏干涉仪的结构与工作原理。重点分析了相位测量干涉仪(PSI)的数学模型,包括多步相移技术(如三步、五步相移)如何通过数值计算从采集的强度数据中提取出高精度的相位信息。 第二部分:关键光学测量技术详解 本部分深入探讨当前工业和科研领域应用最广泛的几大类精密测量技术。 第四章:轮廓与形貌测量:白光干涉与共聚焦技术 白光干涉测量法(Interferometric Surface Profilometry)因其快速扫描和高垂直分辨率的特点而被广泛采用。本章详细剖析零光程差(Coherence Peak)原理,讨论傅里叶变换轮廓仪(FTP)和步进扫描轮廓仪的工作流程。重点在于如何处理高曲率表面导致的相干峰模糊问题。 随后,介绍激光共聚焦显微镜(Confocal Microscopy)。通过针孔限制焦平面外的光线进入探测器,实现对微小区域的垂直截面成像。我们将分析其轴向分辨率的限制因素,并探讨多焦点扫描(Stacking)技术在三维形貌重建中的应用。 第五章:非接触式三维重建:激光扫描与三角测量 三角测量法是快速获取大尺寸物体三维信息的主流方法。本章详述基于激光线或点光源的扫描系统。分析系统标定(相机内参和外参)的重要性,以及恶劣环境(如高反射率表面)对测量精度的影响。同时,介绍结构光照明技术,如何通过编码图案(如格雷码或傅里叶编码)实现一次性或快速采集复杂场景的深度信息。 第六章:光散射与表面粗糙度分析 表面粗糙度直接关系到光学元件的性能和机械部件的摩擦磨损。本章区分了接触式测量(AFM/STM基础)与非接触式光学散射测量。详细介绍偏振光散射测量法,特别是如何利用光的散射角度分布(BRDF)来推导表面均方根粗糙度(RMS)和自相关长度。对分光光度计在薄膜均匀性检测中的应用进行探讨。 第三部分:高级应用与系统集成 本部分关注测量技术的前沿发展和复杂环境下的工程化解决方案。 第七章:高速动态测量与相位展开 许多物理过程,如振动分析、流场测量,要求极高的时间分辨率。本章介绍电子散斑形貌测量(ESPI)和全息干涉测量在静态和动态应变分析中的应用。重点解决干涉条纹图谱中的一个核心难题——相位展开(Phase Unwrapping),讨论基于邻域比较法、路径积分法等算法的鲁棒性与局限性。 第八章:计量标准与不确定度评估 任何精密测量的价值都取决于其可信度。本章系统阐述计量学的基本概念:溯源性、量值、误差与不确定度。详细介绍根据ISO指南对光学测量系统进行不确定度预算的方法,包括系统误差(如标定误差、漂移)和随机误差(如噪声)的量化与组合。本章强调建立可信的、可追溯的测量标准的重要性。 第九章:面向工业的自动化与数据处理 现代光学测量系统必须能够与自动化生产线集成。本章讨论机器视觉与光学测量的融合。内容涵盖高速图像采集卡的选用、数据预处理(去噪、背景扣除)的优化算法,以及如何使用机器学习方法来辅助识别测量中的缺陷(如划痕、气泡)和提高数据处理效率,从而实现在线质量控制。 结论:未来的挑战与机遇 本书的最后将对精密光学测量技术的未来趋势进行展望,包括超分辨成像技术、量子计量在传感领域的应用潜力,以及如何应对极端条件(如高温、高压)下的在位测量挑战。我们相信,通过扎实的理论学习和对前沿技术的掌握,读者将能设计和实施出更高效、更精确的量化方案,推动各自领域的技术进步。

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