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离子束技术及应用 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024

离子束技术及应用
☆☆☆☆☆
简体网页||繁体网页
刘金声
国防工业出版社
1995-3-1
315
15.80元
精装
9787118013122

图书标签: 物理学  材料学  教材   

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发表于2024-11-25

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图书描述

本书介绍离子束技术及应用。全书共分六章，其中包括：电子轰击离子源等离子体特性及设计基础；离子光学系统及基本设计方法；离子源结构设计优化法；离子源阴极的设计方法；离子束刻蚀（IBE）工艺基础；离子束刻蚀的应用及其发展。

本书是作者多年来从事这方面科研工作的总结。取材新颖，理论联系实际，在阐明基本理论及物理概念的基础上，介绍实用离子源的基本设计方法及基本工艺应用原理，并提供了丰富的实用范例。可供从事离子束刻蚀研究的科技人员及设备使用者阅读，也可供大专院校有关专业师生参考。

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