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离子束技术及应用

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刘金声
国防工业出版社
1995-3-1
315
15.80元
精装
9787118013122

图书标签: 物理学  材料学  教材   


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发表于2024-11-05

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图书描述

本书介绍离子束技术及应用。全书共分六章,其中包括:电子轰击离子源等离子体特性及设计基础;离子光学系统及基本设计方法;离子源结构设计优化法;离子源阴极的设计方法;离子束刻蚀(IBE)工艺基础;离子束刻蚀的应用及其发展。

本书是作者多年来从事这方面科研工作的总结。取材新颖,理论联系实际,在阐明基本理论及物理概念的基础上,介绍实用离子源的基本设计方法及基本工艺应用原理,并提供了丰富的实用范例。可供从事离子束刻蚀研究的科技人员及设备使用者阅读,也可供大专院校有关专业师生参考。

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