图书标签: 物理学 材料学 教材
发表于2024-11-05
离子束技术及应用 pdf epub mobi txt 电子书 下载 2024
本书介绍离子束技术及应用。全书共分六章,其中包括:电子轰击离子源等离子体特性及设计基础;离子光学系统及基本设计方法;离子源结构设计优化法;离子源阴极的设计方法;离子束刻蚀(IBE)工艺基础;离子束刻蚀的应用及其发展。
本书是作者多年来从事这方面科研工作的总结。取材新颖,理论联系实际,在阐明基本理论及物理概念的基础上,介绍实用离子源的基本设计方法及基本工艺应用原理,并提供了丰富的实用范例。可供从事离子束刻蚀研究的科技人员及设备使用者阅读,也可供大专院校有关专业师生参考。
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