《微机械光子学(影印版)》简介：光学MEMS是MEMS中的热门领域，也是MEMS的重要发展方向之一。《微机械光子学(影印版)》系统论述了光学MEMS和微机械光子学，书中阐述了此领域的理论及实验结果，并且介绍了多种器件及其应用。内容涉及激光二极管、共振传感器、光镊子等多种器件，最后，对微机械光子学的未来发展做了展望。
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