全书共分8章，主要内容有：真空材料的表面净化处理、真空材料的除气、真空系统的检测技术、真空系统内残余气体的分析与测量、真空系统的操作与维护、真空工程用焊接技术、真空工程封接技术、真空器件的电击穿及预防措施。
本书集基础理论和实践应用技术于一体，理论与工程实践有机结合，适合于真空技术、薄膜与表面工程、材料工程、低温工程、应用物理、机械设计等行业从事研究、设计、设备操作与维护的技术人员，也适用于进行与真空技术相关的科学研究及实验的技术人员和学生，还可作为大专院校相关专业师生的教材及参考书。
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内容比较丰富，但是比较泛。可以放在手边，需要的时候翻一翻。书中有些图示符号不统一。
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