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微納加工中的精密工件颱技術 pdf epub mobi txt 電子書 下載 2024

微納加工中的精密工件颱技術
☆☆☆☆☆
簡體網頁||繁體網頁
劉俊標等
北京工業大學齣版社
2004-12
278
45.00元
簡裝本
9787563914326

圖書標籤: 微電子  技術  必讀  微納   

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发表于2024-12-28

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圖書描述

《微納加工中的精密工件颱技術》是“電子束、離子束、光子束微納加工技術係列專著”中的一個分冊。它與已齣版的《電子束曝光微納加工技術》一書相輔相成，重點講述微納加工中的關鍵部件——精密工件颱的結構、原理和主要技術，以及通過精密工件颱提高加工精度和生産效率的有效方法。全書分為九章。第一章 講述精密工件颱的組成、發展現狀和主要技術指標。第二章 至第五章 係統介紹精密測量技術、驅動技術、直綫導嚮技術的工作原理、技術特點和選用準則。第六章 通過實例闡明微位移技術的原理及結構特點。第七章 和第八章 講述精密工件颱的控製係統、精度分析及精度補償方法。第九章 主要介紹精密工件颱在微電子産業、精密測量、生物芯片技術、納米錶麵形貌測量和納米加工設備中的具體應用和發展前景。

在當前微納加工技術迅猛發展和相關專著及技術圖書十分匱乏的情況下，《微納加工中的精密工件颱技術》的齣版對促進我國微納加工技術的研發工作必將起到積極的作用。

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