《普通高等教育"十五"國傢級規劃教材•矽集成電路工藝基礎》係統講述瞭矽集成電路製造中的單項工藝，內容主要包括矽的晶體結構、氧化、擴散、離子注入、物理氣相澱積、化學氣相澱積、外延、光刻與刻蝕、金屬化與多層互連，最後介紹瞭CMOS集成電路、雙極集成電路以及BiCMOS集成電路的工藝集成。此外，對新工藝、新技術、集成電路工藝技術的發展趨勢以及新結構器件對集成電路製造工藝提齣的新要求等方麵也作瞭介紹。《普通高等教育"十五"國傢級規劃教材•矽集成電路工藝基礎》可作為高等學校微電子專業本科生和研究生的教材或參考書，也可供從事集成電路製造的工藝技術人員閱讀。
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一個學期見證完授課老師朗誦技巧的飛速提升，現在該鍛煉自己的背誦能力瞭。
评分工藝這事兒，還是各種實驗各種文獻各種數據龐雜地堆起來的，弄成教材，總感覺有點彆扭。不過這書用來查閱，還是不錯。
评分經典教材，PKU齣品
评分但求不掛。。。
评分工藝這事兒，還是各種實驗各種文獻各種數據龐雜地堆起來的，弄成教材，總感覺有點彆扭。不過這書用來查閱，還是不錯。
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